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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀接觸式輪廓儀D-600Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

產(chǎn)品簡介

KLA*的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,帶有電動載物臺??蓽y量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

產(chǎn)品型號:D-600
更新時間:2025-09-25
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:3389
詳細介紹在線留言
品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進口應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀D-600 包括一個 200 毫米電動載物臺,具有 150 x 178 毫米 X-Y 運動范圍。 新的測序軟件具有手動糾偏對齊和對樣本多達 1000 個位置的編程功能。 該系統(tǒng)具有*的光學(xué)元件、具有 4 倍數(shù)碼變焦的高分辨率 500萬像素相機和增強的視頻控制功能,可實現(xiàn)高度通用的樣品可視化。

一、功能

設(shè)備特點

電動載物臺

臺階高度:幾納米至1200μm

低觸力:0.03至15mg

視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀

軟件:用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用:

臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度

紋理:2D粗糙度和波紋度

形式:2D翹曲和形狀

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

大學(xué),研究實驗室和研究所

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

SIMS:二次離子質(zhì)譜

LED:發(fā)光二極管

太陽能

MEMS:微電子機械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設(shè)備

二、應(yīng)用

臺階高度

Alpha-StepD-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料。


Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

3D 掃描和 2D 應(yīng)力(可選配功能)

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀3D 掃描產(chǎn)生照片般逼真的表面,可對臺階高度、紋理和樣品形狀進行詳細的表面形貌分析。 2D 應(yīng)力利用 Stoney 方程和樣品弓在處理前后的變化來計算薄膜應(yīng)力。

復(fù)雜表面的3D掃描

紋理:粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

外形:翹曲和形狀

Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-600能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。

Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀







 

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